- 1-160mm 의 측정 범위를 가지는 다목정 타입

- 전체 측점 범위에 대해서 ±7㎛ 및 최소 범위에서 ±(4.0+2.0△D)㎛의 선형성을 가진 고정도를 제공한다

- ±1.4㎛의 뛰어난 반복성

　

- 측정범위 : 1-160mm

- 분해능 : 0.00001-0.01mm (선택가능)

- 반복정도 : ±1.4㎛

- 측정문 위치에러 :±8㎛

- 측정부위 :40 X 160mm

- 레이저 파장 : 650mm

- 레이저 파장 : 3200스캔/초

- 레이저 스캔속도 : 603m/초